1. Kecamatan Ungaran Barat;
2. Kecamatan Ungaran Timur;
3. Kecamatan Bergas;
4. Kecamatan Pringapus;
5. Kecamatan Bawen;
6. Kecamatan Ambarawa;
7. Kecamatan Sumowono;
8. Kecamatan Banyubiru;
9. Kecamatan Jambu;
10. Kecamatan Bandungan;
Secara resmi Pengadilan Agama Ambarawa ditetapkan pada Tanggal 10 November 1983 berdasarkan Surat Pengesahan Pendirian Pengadilan Agama Ambarawa dengan Surat Keputusan Menteri Agama RI Nomor 76 Tahun 1983.
Pada awal berdirinya Pengadilan Agama Ambarawa menempati sebuah gedung yang berada di Jl. Ki Sarino Mangunpranoto No. 2 Ungaran dengan luas tanah 1.009 m2 dan luas bangunan 250m2 dengan status Hak Milik Negara (Departemen Agama) yang diperoleh dari Bagian Proyek Pembangunan Balai Sidang Pengadilan Agama Ambarawa.
Dalam perkembangannya Pengadilan Agama Ambarawa di Ungaran kemudian dipindah ke Ambarawa, sesuai dengan Surat Keputusan Kepala Urusan Administrasi Mahkamah Agung Republik Indonesia Nomor: 46/BUA-PL/S-KEP/XII/2006, tanggal 13 Desember 2006 Tentang Pengalihan Fungsi Penggunaan Bangunan Kantor Lama Pengadilan Negeri Ungaran di Ambarawa menjadi Kantor Pengadilan Agama Ambarawa.
Baca Juga:Song Jae-rim Ditemukan Meninggal Penyebab Kematian Belum Terkonfirmasi, Ada 2 Lembar SuratPernah Ditolak Amerika Serikat, Kini Presiden Prabowo Subianto Menuju Washington
Kemudian ditindak lanjuti dengan penyerahan sertifikat tanah sesuai berita acara serah terima pada Tanggal 14 April tahun 2008, maka diserahkan Sertifikat Tanah Hak Pakai Nomor 11 Tahun 1996 Luas Tanah 3.948 m2, dengan Nama Pemegang Hak Departemen Kehakiman RI Cq Pengadilan Negeri Ambarawa yang terletak di Jl. Mgr. Soegiyopranoto No. 105 Kelurahan Ngampin, Kecamatan Ambarawa yang telah dialihfungsikan berdasarkan Peraturan Bersama Menteri Keuangan dan Kepala Badan Pertanahan Nasional Republik Indonesia Nomor : 186/PMK.06/2009, No. 24 Tahun 2009 tgl 18/II/2009 (DI. 208 3209 tgl 28 Februari 2013, DI 307 6310 tgl 28 Februari 2013) atas nama Pemerintah Republik Indonesia c.q. Mahakamah Agung RI, dengan batas-batas sebagai berikut:
– Sebelah Utara : Lapangan;
– Sebelah Timur : Jalan ke Lapangan;
– Sebelah Selatan : Jalan Raya Semarang-Magelang;
– Sebelah Barat : Kebun milik perorangan;
Di dalam laman tersebut dinyatakan bahwa pada tahun 2020 berdasarkan SK KMA NOMOR 206 TAHUN 2020 Pengadilan Agama Ambarawa mengalami perubahan wilayah yurisdiksi dengan bertambahnya jumlah wilayah hukum dari awalnya hanya berjumlah 10 kecamatan di sebagian Kabupaten Semarang hingga kini seluruh wilayah Kabupaten Semarang menjadi wilayah hukum Pengadilan Agama Ambarawa dengan masuknya 9 Kecamatan di Kabupaten Semarang, sehingga jumlah keseluruhan menjadi 19 kecamatan sebagai berikut: